主要特点:
l 12 bit A/D
l 同时高分辨率采样所有模式
l 实时检测光束质量、尺寸和高斯拟合
l 实时显示光束2D/3D图像
l 测量光束的中心、椭圆度和功率
l Excel数据存储,RS232或TCP/IP数据传输
l 可保存快照图像
l 自动验证分析报告
优势:
专利技术:层析成像重建2 D/3D图像
多功能:测量光束轮廓,光束尺寸,光束形状,位置和功率
灵活性:宽谱范围(190nm-1990nm)
精确度:光束尺寸3um到9mm,0.1um分辨率
紧凑结构:基于USB2.0气箱,测量头,软件
主要参数:
传感器类型 | Si UV-Si IR IRE | |
光谱范围 | Si UV-Si IR IRE | 350-1100nm 190-1100nm 800-1800nm 1200-2700nm |
刀片数 | 3(BA3头) 7(BA7头) | |
光束尺寸范围 | BA3-Si和BA3-UV BA7-Si和BA7-UV(椭圆形) BA7-Si和BA7-UV(圆形) BA3-IR3和BA3-IR3-E BA7-IR3和BA7-IR3-E BA3-IR5 BA7-IR5 | 3?m-5mm 15?m-10mm 15?m-9mm 3?m-3mm 15?m-3mm 3?m-5mm 15?m-5mm |
光束宽度分辨率 | >100?m <100?m | 1?m 0.1?m |
光束宽度精确度 | ±2% | |
功率范围 | Si和UV-Si探头 InGaAs探头 | 10?W-1W(有衰减片) 10?W-5mW(无衰减片) |
功率精确度 | Si和UV-Si探头 InGaAs探头 | ±5% ±10% |
功率分辨率 | 0.1?W | |
位置精确度 | ±15?m | |
位置分辨率 | 1?m | |
饱和度 | Si和UV-Si探头 | 0.1W/cm2(无衰减片),20W/cm2(NG9) |
测量速率 | 5Hz | |
温度 | 0℃-35℃ | |
PC接口 | USB2.0 |