相比于其他光谱仪,Horiba的iHR系列光谱仪采用非对称式的C-T光路设计,具有优异的成像能力和高光谱分辨率。主要表现在以下几个方面:1)非对称式设计可以有效减少慧差和其他相差,使得IHR成像光谱仪具有更宽广的平场范围;2)光谱仪采用比准直镜尺寸更大的超环面聚焦镜,焦平面边缘无光通量损失,使得整个平场范围内无暗角。3)非对称式设计能够有效地降低二次衍射光,提高光谱成像质量。
Horiba为iHR配置多种不同规格的探测器,包括CCD探测器,InGaAs探测器,波长范围覆盖200-2200 nm。像元、像素从13.5μm到26μm,512到2048,从前照射和开放电极到被照射和深耗尽、从TE制冷到液氮制冷。
主要参数:
型号 | Micro HR
| iHR320
| iHR550
|
焦长 | 140 mm | 320 mm | 550 mm |
相对孔径 | F/3.88 | f/4.1 | f/6.4 |
光谱范围 | 150 nm - 15μm | 150 nm - 40 μm | |
光栅数量 | 1~2块 | 1~3块 | |
光栅尺寸 | 32 x 32 mm | 68×68 mm | 76 × 76mm |
分辨率(PMT) | 0.25 nm | 0.06 nm | 0.025 nm |
波长精度 | ± 0.25 nm | ±0.20 nm | |
波长重复性 | ± 0.04 nm | ±0.075 nm | |
光谱色散@500nm | 5.25 nm /mm | 2.31 nm/mm | 1.34 nm/mm |
杂散光 | - - | 1.5×10-4 | 1×10-5 |
扫描速度 | 500 nm/s | 160 nm/s | |
扫描步长 | 0.025 nm | 0.002 nm | |
尺寸(L×W×H) | 178×206×140 mm3 | 417×422×192 mm3 | 648×460×193 mm3 |